場發(fā)射掃描電子顯微鏡
簡要描述:SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。*鏡筒設(shè)計,高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計,實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗是否豐富,都可以快速上手,完成高分辨率拍攝任務(wù)
- 產(chǎn)品型號:SEM5000
- 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
- 更新時間:2024-04-22
- 訪 問 量:1125
場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000
產(chǎn)品介紹
SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡。
*鏡筒設(shè)計,高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)、低像差無漏磁物鏡設(shè)計,實現(xiàn)了低電壓高分辨率成像,同時磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計的人機交互,優(yōu)化的操作和使用流程,無論經(jīng)驗是否豐富,都可以快速上手,完
成高分辨率拍攝任務(wù)。
電子槍類型 肖特基場發(fā)射電子槍
加速電壓 20V ~ 30 kV
分辨率 1 nm @ 15 kV, SE 1.5nm @ 1 kV, SE 0.8nm@30KV, STEM
樣品臺 五軸全自動樣品臺
放大倍率 1 ~ 2,500,000 x
產(chǎn)品特點
分辨率高,低加速電壓下實現(xiàn)高分辨成像
電磁復(fù)合物鏡,減小像差,顯著提高低電壓下的分辨率,而且可觀察磁性樣品
高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel) ,在隧道中的電子能保持高能量,減少了空間電荷效應(yīng),低電壓分辨率得到保證
電子光路無交叉,有效的降低系統(tǒng)像差,提升分辨能力
水冷恒溫物鏡,保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌,自動切換光闌孔,無需機械調(diào)節(jié),實現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
應(yīng)用領(lǐng)域
規(guī)格參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng)
分辨率 0.9 nm @ 15 kV, SE
1.3 nm @ 1 kV, SE
0.8nm@30KV, STEM
放大倍率 1 x ~ 2,500,000 x
加速電壓 20V ~ 30 kV
電子槍類型 肖特基場發(fā)射電子槍
探測器及拓展
標配 鏡筒內(nèi)高角度電子探測器
側(cè)向二次電子探測器
選配 插入式背散射電子探測器
STEM自動插入式掃描透射探測器
樣品交換倉
高速束閘和電子束曝光
EDS能譜儀
EBSD背散射衍射
EBIC電子束感生電流
CL陰極熒光
高低溫原位拉伸臺
納米機械手
大圖拼接
軌跡球 & 旋鈕控制板
樣品室
真空系統(tǒng) 全自動控制,無油真空系統(tǒng)
攝像頭 雙攝像頭
( 光學(xué)導(dǎo)航 + 樣品倉內(nèi)監(jiān)控 )
樣品臺配置行程
X: 125 mm
Y: 125 mm
Z: 50mm
R: 360°
T: -10°~ +90°
軟件
語言 中文
操作系統(tǒng) Windows
導(dǎo)航 光學(xué)導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航
自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散